10.3969/j.issn.1001-3806.2004.06.028
集成光电传感器的研究
为适应现代加工技术的需要,研制了一种集成非接触式光电传感器,它将几何量测量中常见的干涉法测量微观形貌、三角法测量微位移、散射法测量表面粗糙度3种测量方式结合起来,实现同时测量3种参数的功能.通过运用自适应滤波对数据进行处理,其测量精度与单功能传感器相近.
光电传感器、传感器集成、粗糙度、微位移、微观轮廓
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TP212.1(自动化技术及设备)
2005-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共3页
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