10.3969/j.issn.1001-3806.2004.02.019
以无衍射光为基准的内孔同轴度测量仪
沿着z 轴方向传播的无衍射光决定了一条空间直线.加之无衍射光束的光轴比准直激光束稳定,适于作空间直线度/同轴度误差测量的直线基准.以无衍射光为基准,结合圆度测量及其修正技术,实现了一种内孔同轴度的高精度测量技术.介绍了内孔同轴度测量技术的工作原理,并从误差的理论分析和试验来作了证明.
无衍射光、高精度对准、直线度误差的修正、内孔同轴度测量
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TH161
湖北省武汉市青年科技晨光计划20025001001
2004-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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