10.3969/j.issn.1007-080x.2013.03.005
晶圆预对准系统定位算法研究
为提高光刻机生产效率与国产化普及程度,论文设计了一种高效、低成本晶圆预对准装置.根据装置采样点数较低、预对准时间短的特性,对最小二乘圆法及质心法两种算法在晶圆形心定位中的使用特点进行探究,并通过仿真进行验证.提出最小二乘圆法较适用6 000点及以下低采样点的形心定位,而质心法在高采样点形心定位中更为适合,且有较强抗干扰能力.
晶圆预对准、最小二乘圆法、质心法
19
TP2;TN3
国家重大科技专项基金2009ZX02012-001
2013-05-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
30-34,54
