10.3969/j.issn.1007-080x.2012.04.005
COG倒装设备的控制系统研究
玻璃覆晶封装技术是一种将裸晶片互连到玻璃基板上的封装技术.通过计算机控制系统,基于PLC的伺服驱动系统、图像处理系统、温度控制系统和压力控制系统等,实现高稳定性和准确工艺要求下的IC芯片和玻璃基板的粘贴动作的形成和协调；并对开发的PLC控制系统进行了优化,实现了生产效率的提升.
COG倒装设备、PLC控制系统
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TP2;TN
国家863计划课题2007AA04Z316;国家自然科学基金50805097
2012-07-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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