10.3969/j.issn.1007-080X.2002.06.002
激光技术在微电子工艺中的应用
本文介绍了国外在微电子工艺中以激光技术进行激光退火、激光划片、激光焊接、激光微调、激光制造集成电路及其检验等应用的状况.
微电子工艺、激光退火、激光划片、激光焊接、激光微调、激光制造集成电路、激光检验与测定
8
TN4(微电子学、集成电路（IC）)
2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
12-15
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10.3969/j.issn.1007-080X.2002.06.002
微电子工艺、激光退火、激光划片、激光焊接、激光微调、激光制造集成电路、激光检验与测定
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TN4(微电子学、集成电路（IC）)
2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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