10.16568/j.0254-6086.202104003
射频等离子体离子能量分布特性研究
利用质谱仪对不同进气速率下的氩气、氮气及氮-氘混合三种射频感应耦合等离子体的离子能量分布、离子浓度演化进行了研究.实验结果表明,等离子体的离子能量分布呈多峰结构;在功率一定时,纯氩气及氮气离子的峰值能量随进气速率增加向低能端移动,且离子通量密度逐渐降低;而氮-氘混合等离子体生成的氨系离子ND4+,峰值离子能量随氘气进气速率先降低后上升,通量密度先增大后降低.
感应耦合等离子体;离子能量分布;进气速率
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O536;TL65(等离子体物理学)
国家自然科学基金;国家磁约束核聚变能发展研究专项
2021-12-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
598-602
