10.3969/j.issn.0254-6086.2000.03.012
金刚石镀膜装置中的等离子体参数测量
利用平行马赫探针和单探针对金刚石镀膜装置中的等离子体漂移速度、离子密度及电子温度进行了测量,采用Chung Kyu-Sun理论对平行马赫探针数据进行分析得到的马赫数为0.28,电子温度为5eV,等离子体流速约为980m·s-1.单探针测得离子密度在1018～1020m-3的范围内,电子温度在2～8eV的范围内.
单探针、平行马赫探针、马赫数、等离子体漂移速度、电子温度、离子密度
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O536;TL65+6(等离子体物理学)
2004-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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