10.3969/j.issn.1000-3932.2021.03.012
基于Datawin组态软件的CG6000型直拉硅单晶炉数据采集系统
针对CG6000型直拉硅单晶炉数据运用效率低、难以实时存储和设备管理分散问题,设计应用串口通信的单晶炉数据采集系统,实现单晶拉制全工艺过程的实时数据采集.以SQL Server构建的单晶拉制数据库作为数据源,采用Datawin组态软件进行界面数据展示和开发.实际应用表明:该系统易于搭建、运行稳定,可以满足企业对单晶硅拉制参数的集中监控、存储、展示、分析及验证等多种实际需求.
数据采集系统、直拉硅单晶炉、串口通信、Datawin组态软件、网络化管控
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TH165+.2
2021-06-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
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