10.3969/j.issn.1000-3932.2021.02.011
一种新型表面轮廓仪的设计
针对传统表面轮廓测量方法存在的速度慢、测量不准确、对透明物体难以测量及测量信号误差较大且不易处理等问题,设计了一种新型表面轮廓仪.通过温度补偿方法,对电涡流位移传感器进行了温度补偿.基于LabVIEW,设计了人机交互界面.试验表明该轮廓仪具有一定的可行性.
表面轮廓仪、电涡流位移传感器、温度补偿、LabVIEW
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TH821
国家自然科学基金青年科学基金项目;广东省自然科学基金项目;广州市产业技术重大攻关计划
2021-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
156-161
