10.3969/j.issn.1000-3932.2019.03.007
狭缝压力检测的SAW微力传感器温度补偿研究
声表面波微力传感器容易受到温度的干扰进而影响测量精度,通过推导温度变化与振荡频率偏移之间的关系,结合温度传感器获得温度引起的频率误差,从而实现了温度补偿,同时得到了相对误差,证明了该补偿方法的有效性.
声表面波、振荡频率偏移、温度补偿、相对误差
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TP212(自动化技术及设备)
国家自然科学基金青年科学基金61703270;上海市研究生科研创新项目E3-0903-17-01041
2019-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
190-193
