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10.3969/j.issn.1000-3932.2017.05.010

柔性阵列式声表面波微力传感器的研究

引用
主要研究柔性阵列式声表面波微力传感器,进行两个金属或者非金属物体以及其间若干局部弹性介质接触面(厚度在1~5mm)间接触微压力(0.0 ~0.2N)的检测,根据基片结构所受应力变化使用有限元分析法进行受力分析,同时设计柔性阵列式传感器基片,确定边界条件,建立其线性回归数学模型并进行曲线拟合.该器件能够在特殊测量环境下满足力敏原件自由弯曲的特性,并且能够在恶劣环境下进行无源无线通信,在测量压力时具有抗干扰能力强、精度高且分辨率高的特性,可广泛应用于接触式测量、无损检测、机器人及生物力学等领域.

传感器、接触微压力、柔性阵列式、声表面波、有限元分析、无源无线

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TH812

上海工程技术大学研究生科研创新项目E3-0903-16-01182

2017-07-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共7页

466-471,477

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化工自动化及仪表

1000-3932

62-1037/TQ

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2017,44(5)

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