10.3969/j.issn.1000-3932.2016.03.013
基于质量流量控制器的高精密配气系统
针对市售标气很难满足实际应用需求的问题,基于质量流量控制器的控制原理,研制一套高精密动态可持续输出的配气系统.给出系统的总体结构及其工作原理,并利用电化学传感器和统计学原理,对该系统的稳定性和准确度进行了考察,结果表明:在30min的考察期内,配气浓度标准偏差小于0.40％,在95％的置信区间内与电化学传感器测定值的准确度相当.
配气系统、质量流量控制器、混合标准气、高精密
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TH862
国防科工局技术基础项目J092013A009
2016-06-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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