10.3969/j.issn.1000-3932.2012.07.009
基于集总参数模型的MEMS开关的研究
介绍了采用集总参数模型对MEMS开关进行设计和仿真的方法.在纳米尺度下,卡斯米尔力和范德华力是不可忽略的作用力.讨论了卡斯米尔力、范德华力和静电力共同作用下MEMS的阙值电压及其非线性效果.结果表明:卡斯米尔力、范德华力和静电力共同作用影响了MEMS阙值电压的值.
集总参数模型、MEMS开关、悬臂梁、阙值电压
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TH89
2012-10-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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869-871,891