10.3969/j.issn.1000-6613.2013.09.041
氯硅烷残液中六氯二硅烷回收工艺的模拟与优化
多晶硅残液中的六氯二硅烷具有高附加值，国外已开展相关研究，而国内这方面研究仍处于空白阶段。对此，本文提出了一种从多晶硅氯硅烷残液回收六氯二硅烷的新工艺。工艺通过采用过滤器与五精馏塔耦合完成残液回收，利用 Aspen Plus 软件对工艺进行了模拟计算，结果表明，本工艺能够有效回收六氯二硅烷，纯度（质量分数）可达99.8%。使用灵敏度分析考察了回流比、进料位置、采出量等对分离效果的影响，确定了最优工艺操作参数。最后评价了工艺的整体经济效应，结果表明本工艺存在很大的潜在效益。
多晶硅、氯硅烷残液、六氯二硅烷、残液回收
TQ028.8(一般性问题)
2013-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
2258-2262,2266
