10.3969/j.issn.1007-7375.2012.02.001
半导体晶圆制造中组合设备运行和控制综述
作为半导体制造中单晶圆加工技术的可重构集成设备,组合设备在半导体产业得到越来越广泛的应用.使用组合设备使得半导体制造产出更高、生产周期更短、空间利用率更高以及生产成本更低.由于组合设备的运行受限于诸多约束条件,有效运行一台组合设备相当困难.目前已有大量的有关组合设备建模、性能分析及调度等相关研究工作.本文回顾了这些研究工作的进展及其使用的研究方法,探讨了现有的方法的优缺点.基于这些分析,指出了进一步的研究方向.
半导体制造、组合设备、生产调度、系统建模和分析
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TP278(自动化技术及设备)
国家自然科学基金资助60974098
2012-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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