10.3964/j.issn.1000-0593(2013)10-2865-04
CCD器件相对光谱响应测试仪
设计并实现了一种涵盖400～950 nm的全自动CCD器件相对光谱响应测试仪.分析了成像器件的相对光谱响应测试原理,采用宽光谱、高灵敏度响应的科学级光纤光谱仪QE65000作为参考探测器,基于单光路直接比较法,构建了CCD器件相对光谱响应测试仪器.该装置可全自动完成CCD器件的相对光谱响应测量,不确定度分析结果表明,该装置对CCD器件开展相对光谱响应测试的最大不确定度为6.21％,满足应用需求,可为CC等图像传感器甄选、参数性能评价及后续整机测试提供关键数据支撑.
CCD、相对光谱响应、全自动测试、不确定度
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TN386.5(半导体技术)
国家863计划重大课题2012AA03A707
2013-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
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