10.3964/j.issn.1000-0593(2013)09-2562-04
MPCVD等离子体的发射光谱研究
在2.45 GHz,800 W微波等离子体化学气相沉积装置上,利用发射光谱对CH4/H2等离子体进行在线诊断,分析了等离子体中存在的基团,研究了甲烷浓度对各基团浓度及基团的空间分布的影响.结果表明:等离子体中存在CH,Hα,Hβ,Hγ,C2基团和Mo杂质原子,随着甲烷浓度的升高,各基团的发射光谱强度均有增加,其中C2基团强度显著增加.CH与Hα基团的发射光谱强度比值随甲烷浓度的增加变化不大,而Q与Hα基团的发射光谱强度的比值随甲烷浓度的增加而显著增大.另外,甲烷浓度的增加使得等离子体中各基团在空间分布的均匀性变差.
发射光谱、甲烷浓度、均匀性
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TL65(受控热核反应（聚变反应理论及实验装置）)
国家自然科学基金项目10875093
2013-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
2562-2565
