10.3321/j.issn:1000-0593.2006.01.028
BCxN薄膜的紫外透过光谱研究
利用射频磁控溅射方法以不同的溅射功率(80～130 W)制备出具备紫外增透性能的BCN,BC2N和BC3N薄膜.傅里叶红外吸收光谱和X射线光电子能谱测量发现样品的组成原子之间均实现了原子级化合.溅射功率对薄膜的组分和紫外增透性能有很大影响,其通过改变薄膜组分而影响紫外增透性能,且碳原子数小的样品紫外增透性能好.以110 W条件下制备的BCN薄膜中碳原子数最小,它的紫外增透性能最好,在200～350 nm波段附近平均透过率比玻璃提高了将近40%.
硼碳氮薄膜、透过率、增透膜、傅里叶红外吸收光谱、X射线光电子能谱
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O484.4(固体物理学)
中国科学院资助项目59831340
2006-04-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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102-105
