10.3772/j.issn.1002-0470.2008.12.011
音叉振动式微机械陀螺弹性梁的研究
以一种音叉振动式微机械陀螺为研究对象,建立了四自由度微机械陀螺动力学模型,重点分析了驱动微弹性梁和检测微弹性梁刚度较大方向的微弹性系数对微机械陀螺动力学性能的影响.设计了三段检测梁和两段驱动梁并推导出其微弹性系数公式,建立了微弹性梁的评价函数,通过实例解析对微机械陀螺动力学性能进行了优化.结果表明:优化后的微机械陀螺具有较好的健壮性和较高的灵敏度.此研究结果适用于音叉式微机械陀螺,而且对其它MEMS器件的设计具有重要的参考价值.
微机械陀螺、微弹性梁、刚度、优化、健壮性
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TP2;TH7
863计划2006AA04Z303;高等学校博士学科重点专项科研基金20070247006;中国博士后科学基金20080430687;国家自然科学基金50805106
2009-02-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
1274-1279
