10.3321/j.issn:1002-0470.2007.01.001
基于面向服务架构的分布式开放控制系统
提出了一种基于面向服务架构(SOA)的分布式开放控制系统模型.整个参考模型由设备抽象层、基本控制模块层、服务层和应用层四层组成.各层内部采用面向对象的方法进行设计,各层相对独立,层间的耦合性比较小.服务层包含了所有分布式子系统的服务抽象和封装,以服务的方式供应用层使用.这种控制系统模型,开放性好,各个模块的可重用性强,开发效率高.使用这种框架,成功开发了IC工艺装备中的刻蚀机硅片传输原型系统,而且取得了很好的效果.
面向服务、IC、刻蚀、面向服务架构、控制系统、开放式系统
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TP3(计算技术、计算机技术)
国家高技术研究发展计划863计划2003AA4Z5000
2007-03-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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