10.3969/j.issn.1003-3726.2003.04.002
含氟聚酰亚胺及其在微电子工业中的研究进展Ⅱ含氟聚酰亚胺在微电子工业中的应用
综述了近年来国内外在含氟聚酰亚胺(PI)研究及应用领域中的最新进展情况.主要从现代微电子工业对相关材料的性能要求、标准型聚酰亚胺材料所面临的挑战以及新型含氟聚酰亚胺在微电子工业中的应用等几个方面进行了详细的综述.重点阐述了中国科学院化学研究所305组近几年在这方面的研究进展情况.并指出为了推动我国微电子工业的发展,研制开发低成本、高技术含量的含氟聚酰亚胺材料具有十分重要的现实意义.
含氟聚酰亚胺、微电子、低介电常数材料、取向膜
TN4(微电子学、集成电路（IC）)
国家杰出青年科学基金59925310;国家重点实验室基金SKLEP0061
2003-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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