10.19453/j.cnki.1005-488x.2020.04.008
一种基于SNCC的中心对称标记精确定位方法
利用中心对称标记的中心旋转不变特性,提出了一种基于自归一化积相关(SNCC)的模板匹配方法.该方法对由于TFT制程工艺导致的非线性缩放变形以及标记离焦情形,具有较强的工艺适应性.通过对TFT工艺变形的对准标记以及离焦的对准标记对比测试,验证了在此工况条件下,基于SNCC方法的测量结果相对NCC及几何模版匹配算法具有更高的可信度,可以满足中心对称标记亚像素级的精确定位及测量需求.相对于传统标记中心定位方法,在对准标记产生工艺形变或对准离焦时,研究方法依旧可以获取高的可信度测量结果.
薄膜晶体管、归一化积相关、中心对称标记、亚像素定位
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TN321+.5;TP391.41(半导体技术)
2021-02-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共7页
284-290
