10.3969/j.issn.1005-488X.2009.03.017
激光诱导的光热技术在半导体检测中的应用
综述了近些年来国内外半导体检测的光学技术研究的最新进展.重点阐述了基于光声光热效应的半导体检测技术的最新发展动态,其中分别对光热偏转(PTD)、光热调制反射(PMTR)、光热辐射(PTR)、光生载流子辐射(PCR)进行了详细介绍,最后提出了半导体检测技术的发展方向.
光电检测、半导体特性、光热技术、热波
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TN247(光电子技术、激光技术)
国家自然科学基金资助项目50506006;电子科大青年基金资助项目JX05024
2009-11-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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