10.3969/j.issn.1005-488X.2006.01.007
纳米薄膜的光学参数及厚度提取方法研究
采用磁控溅射法在玻璃基底上分别制备了不同厚度的单层TiO2、Au纳米薄膜和双层TiO2/Au纳米薄膜,并测量了这些薄膜的透射光谱.通过设计计算机程序拟合透射光谱;获取了薄膜的折射率和消光系数随波长的变化曲线以及薄膜的厚度.这种拟合方法是以非线性约束优化理论为基础的,具有透射光谱易测量、计算精度高等特点.
薄膜光学、光学常数、非线性约束优化算法
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TN65(电子元件、组件)
2006-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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