10.3969/j.issn.1005-488X.2004.01.001
真空蒸发法择优定向生长ZnO薄膜
研究了(002)向择优生长ZnO薄膜.利用真空蒸发法制备ZnO薄膜,衬底材料是镜面抛光石英片.实验结果表明,用此方法可获得高度择优定向生长的ZnO薄膜,氧化退火温度对ZnO薄膜的结构有重要影响.
真空蒸发、ZnO薄膜、择优定向生长
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O484.4(固体物理学)
国家高技术研究发展计划863计划2001AA513011;重庆市教委资助项目020804
2004-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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