10.3969/j.issn.1005-488X.2003.02.005
热蒸镀法与溶胶-凝胶法制备的WO3薄膜
采用真空热蒸发沉积技术在衬底上沉积了WO3薄膜;以金属W粉为无机原料,溶胶-凝胶技术结合浸渍镀膜方法制备出WO3薄膜,借助SEM、可见光分光光度计、椭偏仪等仪器测量了薄膜的特性.实验表明:热处理使两种方法制得的薄膜致密,折射率增大,WO3颗粒增大;在热处理条件相同的情况下,溶胶-凝胶法制备的WO3薄膜折射率比热蒸镀法制备的WO3薄膜折射率小.
WO3薄膜、溶胶-凝胶技术、热蒸发、热处理
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TN304(半导体技术)
2003-12-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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