10.3969/j.issn.1005-488X.2002.04.008
MOEMS光开关静电驱动的优化设计
给出基于硅的微机械光开关的设计分析.优化设计了光开关结构,提出了一种降低扭臂式结构光开关驱动电压的方法.并根据不同结构,给出了静电驱动等方面的分析结果.
光开关、静电驱动、扭臂
22
TN253(光电子技术、激光技术)
吉林省科技发展计划20010319
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
223-227
10.3969/j.issn.1005-488X.2002.04.008
光开关、静电驱动、扭臂
22
TN253(光电子技术、激光技术)
吉林省科技发展计划20010319
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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