10.3969/j.issn.1674-2605.2018.05.007
基于叉指状电容结构的微纳力测量装置
基于叉指状电容结构,设计一种微纳力测量装置.利用叉指状电容结构之间产生的微纳量级静电力,实现对微纳力的准确测量.装置结构简单、操作方便,同时可测量不同方向的微纳力.通过理论计算、数值模拟及实验结果的分析表明:在100 V～600 V的加载电压区间内,装置能达到较高测量准确度;当加载电压超过600 V时,由于加载电压自身不确定度增大,导致测量结果误差增大.研究结果对微纳力测量装置的小型化、集成化具有较大实用价值.
叉指状电容、静电力、微纳力、测量装置
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国家质量监督检验检疫总局科技计划项目2016QK028;广东省科技计划项目2014A040401044
2019-03-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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