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10.3969/j.issn.1674-2605.2011.06.004

基于微波反射光电导法的硅材料少子寿命的研究及系统构建

引用
本文基于微波光电导法的测量原理,从单晶硅材料中的电导率和少数载流子浓度的关系着手,提出了一个基于激光一微波双辐射源的硅材料非平衡少数载流子寿命测量系统,介绍了系统结构与工作原理,讨论了系统中各模块功能及其实现原理,完成了模块的理论分析与设计。初步实验表明:设计方案具有可行性。

可再生能源、硅、微波、光电导、少数载流子寿命

32

TN304.12(半导体技术)

中央高校基本科研业务费专项基金资助项目暨11609506

2012-04-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

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自动化与信息工程

1674-2605

44-1632/TP

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2011,32(6)

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