10.3969/j.issn.1004-4957.2014.07.020
大气压电离质谱在超高纯气体纯度分析中的应用
超高纯气体在工业领域有着重大的需求,必须有相应的高灵敏度杂质检测技术作为支撑.大气压电离质谱(APIMS)具有非常高的灵敏度,通常比电子轰击质谱(EIMS)高104～ 106倍,是分析超高纯气体纯度最有效的方法.该文介绍了APIMS的产生、发展及电离原理,并综述了以往APIMS对超高纯气体纯度分析的工作,包括底气、杂质种类、杂质检出限及特殊杂质的检测方法.由于方法灵敏度对超高纯气体纯度分析至关重要,文中侧重总结了文献中报道的不同杂质的检出限.
大气压电离质谱(APIMS)、超高纯气体、纯度、杂质、分析
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O657.63;O659(分析化学)
国家科技支撑计划资助项目2013BAK10B03
2014-08-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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