10.3969/j.issn.1008-0171.2015.03.002
MEMS 微结构静态测试技术的发展及应用
对国内外众多学者提出的各种微几何量和微机械量的静态测试技术进行了总结，并讨论了其应用场合和测试范围，在此基础上分析得出非接触式光学测试方法受到众学者的青睐，微视觉测量是 MEMS 静态测试技术的一个主要发展方向。
MEMS、静态测试、微几何、微机械、微视觉测量
TH741.8(仪器、仪表)
国家自然科学基金资助项目51105077；广东省精密装备与制造技术重点实验室开放基金
2015-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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