10.3969/j.issn.1008-0171.2014.06.005
MEMS 器件的白光干涉测量
白光干涉测量法适用于 MEMS 器件的三维表面形貌测量。通过 Matlab 仿真，讨论了在局部峰点插值法中采用三次样条插值的优势，从测量速度、测量精度、抗噪能力和扫描步距等方面对局部峰点插值法与傅立叶变换滤波法、希尔伯特变换法、小波变换法进行比较。最后经过中值滤波预处理、局部峰点插值法处理后，得到器件的三维表面形貌。
微机电系统、白光干涉、三维表面形貌
TH744.3(仪器、仪表)
2014-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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