10.3969/j.issn.1008-0171.2013.02.013
基于白光干涉原理的微齿轮几何特征检测
将垂直扫描白光干涉(VSI)测量方法应用于微齿轮的几何特性检测中,该方法具有非接触、大量程、高精度、高效率等特点,水平分辨力为亚微米级,垂直分辨力可以达到纳米量级,并通过Hilbert变换法提取包络峰值来恢复被测表面的三维形貌尺寸.研究结果表明,垂直扫描白光干涉测量方法能够实现微齿轮几何特性的检测,满足设计中提出的精度要求.
白光干涉、微齿轮、几何特征检测
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TH744.3(仪器、仪表)
佛山科学技术学院科研资助项目
2013-05-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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