10.3969/j.issn.1003-0107.2023.04.023
集成电路自动测试设备的维护与保养
芯片测试作为集成电路的最后一道环节,在集成电路发展的链条中处于非常重要的位置.在整个芯片测试过程中,保证芯片测试的精确性、准确性和可靠性,准确定位筛选出具有缺陷的芯片显得格外重要.为了避免因自动测试设备造成芯片测试数据的不准确性,定期对集成电路自动测试设备进行维护与保养十分重要.从工程实际出发,从计量校准、参数能力验证和设备检修方面,阐述集成电路自动测试设备的维护与保养,并对管理要求和注意事项进行了总结,为行业人员提供了有益的参考.
集成电路、自动测试设备、校准计量、维护保养
TP23(自动化技术及设备)
2023-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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