10.3969/j.issn.1003-0107.2023.04.008
一种集成电路的MSA方法研究
在集成电路测试中,测量系统分析是至关重要的一个环节.它能够体现出测量系统是否准确,对于保证测量数据的质量有很大帮助.介绍了一种测量系统分析方法.首先,对测量系统的稳定性、偏倚、线性、重复性和再现性进行了研究,得到了测量过程总波动值和测量系统波动值;然后,以测量系统的波动与总波动的百分比为参考指标,依据判别准则,判定测量系统的状态,确定了主要误差;最后,并针对问题进行更改,对于提高集成电路测试准确性具有重要的意义.
集成电路、测试、测量系统分析
TN407(微电子学、集成电路（IC）)
2023-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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