10.3969/j.issn.1003-0107.2020.01.002
面向多品种、小批量微电子制造过程的SPC技术应用研究
统计过程控制(SPC)是质量管理中一种常用的工具,但由于高可靠微电子元器件生产企业绝大部分都是多品种、小批量生产,工序常规的SPC模型已经不能对这类生产型企业工序状态进行有效的监控.该文着重探讨分析一种嵌套回归SPC模型,这种SPC模型更适合成本较高的多品种、小批量生产模式,即能降低分析控制成本,又能很好地解决多品种、小批量生产统计过程控制所需数据不足的问题.
微电子制造、统计过程控制、低成本
TN305(半导体技术)
2020-03-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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