10.3969/j.issn.1003-0107.2013.01.006
氧化铝基板对厚膜电阻阻值的影响
该文介绍了氧化铝基板的三种基本特性—翘曲度、表面粗糙度和颗粒粒度,并重点研究了表面粗糙度和颗粒粒度对钌系电阻阻值的影响.结果表明:用同一阻浆印刷并于相同条件下烧结后,基板表面越粗糙、颗粒粒度越大,其阻值越低,并且中阻段的阻值相差更明显.这对电阻制造厂在使用不同厂家的基板时,如何配制阻浆具有一定的参考意义.
氧化铝基板、电阻、阻值、翘曲度、表面粗糙度、颗粒粒度
TN37(半导体技术)
2013-03-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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