10.3969/j.issn.1003-0107.2012.02.011
基于SEMI标准的集成电路制造装备控制系统设计
随着集成电路制造装备的复杂度越来越高,设计一个符合SEMI标准的集成电路制造装置控制系统显得尤为重要。针对SEMI标准的要求,提出了一种控制系统的结构设计方法。设计的系统定义了SEMI标准中规定的控制模型与状态模型及其他操作,能够满足实际控制需要与SEMI标准的要求。
集成电路制造装备、控制系统、SEMI标准
TP31;TP39(计算技术、计算机技术)
2012-05-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
32-34,46
