10.3969/j.issn.1003-0107.2005.06.004
微电子器件测试技术(上)
本文分析了微电子器件的发展趋势,论述了微电子器件的测试筛选与质量控制的关系.重点结合了华峰测控的STS 2100系列测试系统介绍了各种微电子器件的相关测试技术,同时也介绍了测试失效分析及其重要性.
微电子器件、测试技术、失效分析、测试筛选、质量控制、STS 2100
TN407(微电子学、集成电路（IC）)
2005-09-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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