10.3969/j.issn.1003-0107.2005.02.009
探测出隐藏各种缺陷的空洞检测系统
本文主要介绍了专用于探查晶圆片凸点空洞的装置--德国FeinFocus公司的WBI-FOX型自动化X 射线检查系统.并简要叙述了此装置的主要特征和应用前景.
晶圆片凸点空洞、检查系统、特征、应用
TN304.07(半导体技术)
2005-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共2页
21,9
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10.3969/j.issn.1003-0107.2005.02.009
晶圆片凸点空洞、检查系统、特征、应用
TN304.07(半导体技术)
2005-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共2页
21,9
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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