10.3969/j.issn.1004-4507.2023.02.014
SEMI标准在半导体制造设备中的应用
SEMI标准是一项国际通用的半导体行业标准,为研究SEMI标准在半导体制造设备中的应用情况,介绍了SEMI S2半导体设备安全准则、SEMI F47半导体设备电压暂降抗扰度标准并说明了标准的实际应用.分析了SEMI S23半导体设备能源、电力和原料的使用效率标准、SECS/GEM通讯标准及其研究应用现状;提出了我国半导体产业的快速发展需要加大SEMI标准的普及应用.
半导体制造设备、SEMI S2标准、SEMI F47标准
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T-651(参考工具书)
2023-05-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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