10.3969/j.issn.1004-4507.2023.02.013
交换版机械手支架的模态分析
针对交换版机械手上所用支架,基于有限元理论,运用ANSYS软件进行网格划分和属性定义,进行模态分析.运用LMS Testlab设备进行支架模态试验,结果表明模态仿真结果与试验结果误差在允许范围内,验证了仿真结果和试验结果的准确性、可靠性.为支架的优化设计提供了理论依据,并用于指导实际的生产设计.
模态试验、有限元分析、支架、掩模版交换、机械手
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TN305(半导体技术)
2023-05-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
54-57,63
