10.3969/j.issn.1004-4507.2023.02.004
刻蚀下料机流程分解与设计优化方法研究
通过对刻蚀下料机流程的分解,总结出产能计算的方法,剖析了制约设备产能的瓶颈问题.该方法帮助我们熟练搭配相关组件,优化设计方案,增加设备产能,提高设备的稳定性和可靠性.
刻蚀下料机、流程分解、瓶颈分析、设计优化
52
TN305.7(半导体技术)
2023-05-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
13-15,43
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10.3969/j.issn.1004-4507.2023.02.004
刻蚀下料机、流程分解、瓶颈分析、设计优化
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TN305.7(半导体技术)
2023-05-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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