10.3969/j.issn.1004-4507.2023.02.003
等离子清洗机的腔体设计
介绍了等离子的产生机理及等离子清洗技术的原理;给出一种等离子清洗机的腔体,其特点是工艺气体从左向右水平流动,每个带有小孔的腔体极板可以灵活配置成悬浮极、阳极和阴极;选取合适的工艺条件后,获得了良好的清洗效果.
等离子体、腔体、清洗、极板
52
TN405(微电子学、集成电路（IC）)
2023-05-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
10-12,34
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10.3969/j.issn.1004-4507.2023.02.003
等离子体、腔体、清洗、极板
52
TN405(微电子学、集成电路（IC）)
2023-05-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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