10.3969/j.issn.1004-4507.2023.01.001
TOPCon电池低压硼扩散设备的发展趋势分析
随着太阳能光伏发电对晶体硅电池高转化效率需求的不断增加,对晶体硅电池技术关键设备投资性价比和发电性能的要求更高.对晶硅电池发展工艺技术进行了阐述,分析讨论了国内外隧穿氧化层钝化接触电池(简称"TOPCon")低压硼扩散炉的发展现状,探讨了硼扩散设备技术难点和未来研究方向.
太阳能、光伏发电、隧穿氧化层钝化接触电池、高转化效率、硼扩散
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TN305.4(半导体技术)
2023-03-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共7页
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