10.3969/j.issn.1004-4507.2022.06.014
PSG上料自动化产能分析与设计优化
通过拆分上料流程,分析并计算出各个环节运行一个周期所用的时间,找到PSG设备产能瓶颈;改进了纵向传送组件,由之前的一段传输改为两段传输;改进后的设备产能提升明显.
磷硅玻璃(PSG)、上料自动化、纵向传送
51
TN305(半导体技术)
2023-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
63-66
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10.3969/j.issn.1004-4507.2022.06.014
磷硅玻璃(PSG)、上料自动化、纵向传送
51
TN305(半导体技术)
2023-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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