10.3969/j.issn.1004-4507.2022.06.010
基于激光追踪仪的运动轴性能测试与分析
针对现有运动轴性能测试方法的缺点,提出了基于激光追踪仪的测量方法,其核心思想是将运动轴性能测试转化为数学问题.首先选用高精度直线模组构造垂向运动测试装置,并明确了直线模组的必备选型指标;其次以运动直线度、运动姿态和重复定位精度为例,系统介绍了其测量原理、测量流程和数据处理方法;最后通过对比实验完成了测试方法的可行性分析,结果表明激光追踪仪反射镜测试方案测量精度高、更符合实际.依托激光追踪仪可实现集成过程与测量环节的有机统一,为提升产品性能和精度提供了可靠保障.
运动轴、激光追踪仪、直线度、运动姿态、重复定位精度
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TN307(半导体技术)
2023-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
44-48,62
