10.3969/j.issn.1004-4507.2022.05.015
N型超高效太阳能单晶硅片智能车间建设与应用
通过对晶棒物流自动化、生产过程管控系统以及全流程质量追溯等技术的研究,以太阳能单晶硅片制造数字化、智能化为目标,聚焦太阳能单晶硅片智能车间,构建可复用单晶硅片智能车间解决方案,助力单晶硅片制造企业的数字化转型.
单晶硅片、智能车间、过程管控
51
TN305(半导体技术)
2023-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共7页
60-66
相关文献
评论
10.3969/j.issn.1004-4507.2022.05.015
单晶硅片、智能车间、过程管控
51
TN305(半导体技术)
2023-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共7页
60-66
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1
违法和不良信息举报电话：4000115888 举报邮箱：problem@wanfangdata.com.cn
