10.3969/j.issn.1004-4507.2022.05.013
缓存区工位和调度系统在CMP设备中的应用
介绍了一种半导体专用设备用的缓存装置及其调度方法,此调度方法适用于晶圆的多种工艺加工过程,针对设备在晶圆传输过程中遇到模块故障或者模块超时问题,合理的启用缓存区工位将有受损风险的晶圆收纳到缓存区,并在故障消除后将晶圆恢复至正常工艺流程的方法.该系统方法最大限度地保护晶圆的安全,同时也为快速恢复正常加工提供了保障.
化学机械平坦化(CMP)设备、缓存区、调度流程
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TN305(半导体技术)
2023-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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