10.3969/j.issn.1004-4507.2022.05.006
碲锌镉晶片精密抛光效果的影响因素分析
碲锌镉(CZT,CdZnTe)晶片是生长红外焦平面列阵所用碲镉汞(HgCdTe)薄膜的衬底材料.为了满足碲镉汞液相外延的性能要求,采用化学机械抛光可获得平面度高、粗糙度低、无损伤层的碲锌镉晶片表面.通过对抛光结构的机械运动分析,建立了抛光过程中各参数对工艺指标的影响,通过实验优化工艺参数获得高质量的抛光效果.
碲锌镉晶体、机械抛光运动、工艺实验设计
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TN305.1(半导体技术)
2023-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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